当前，激光微加工是一个快速发展的领域，正迅速革新着整个工业和科学领域的生产过程。随着高端制造时代到来，精密和微细加工领域的应用是激光加工的重点应用方向，微电子、3C/5G、新材料、穿戴式电子设备、医疗装备、航空航天、新能源汽车、光伏、OLED等现代显示行业、增材制造、生命科学、科研领域等诸多产业对于激光精密加工需求旺盛。

在此背景下，拟定于PME CHINA国际精密加工技术博览会（10月9-11日）同期举行的“先进激光技术在微电子行业中的应用”论坛将围绕激光在精密微电子行业的发展现状、未来前景、产业面临的挑战等话题，邀请业界专家和企业代表共同探讨，分享案例，为这一前沿技术及其应用方向指点迷津。

嘉宾风采

刘顿 教授

湖北工业大学

演讲题目

超快激光光场调控技术及其在硬脆材料加工领域的应用

演讲摘要

报告介绍了超快激光光场调控技术及其在硬脆材料加工领域的应用。首先讨论了超快激光精密加工与光场调控的关联关系，介绍了团队开发的光场调控产品。探讨了多光束并行加工技术，包括2D加工和3D加工，可显著提高了加工效率和灵活性。此外，还探讨了偏振控制在实现所需材料改性和表面特性方面的重要性。此外，还介绍了光束整形技术，如环形光束、贝塞尔光束、平顶光束和艾里光束等及其潜在应用。讨论了光场调控技术在半导体材料加工方面的应用，包括改质切割、LowK晶圆开槽和TGV加工，有助于优化制造工艺和器件性能。最后介绍了光场调控技术在其它领域的广泛应用，包括自清洁、流体减阻、抗冰冻、防微生物附着、油水分离和减反射表面等。

嘉宾介绍

刘顿，湖北工业大学教授、超快激光加工研究中心负责人、中国光学学会激光加工专业委员会常务委员。2005-2012年在英国利物浦大学获得博士学位并担任博士后研究员。2012年9月以湖北省“百人计划”引进回国工作。2016年获湖北省科技进步二等奖。作为负责人承担国家、省、市级项目30余项。近年来发表学术论文80余篇，获批发明专利20项。长期从事超短脉冲激光加工的研究工作，主要研究领域包括基于空间光调制器的多光束并行加工、偏振控制、激光束整形技术、材料表面浸润性控制、激光直写光子器件等。

论坛主题

"光“制造赋能微电子产业变革

论坛时间及地点

2023年10月9日（下午）

上海世博展览馆

主办单位

中国光学学会激光加工专业委员会

镭赛传媒

汇捷通展览（上海）有限公司

论坛主席

唐霞辉教授

华中科技大学

激光加工国家工程研究中心副主任

议题方向

超快激光创新技术在脆性材料加工领域的解决方案

难加工和异性材料的激光焊接解决方案

“光”制造赋能半导体产业转型升级

激光微纳加工：微电子行业提质增效的利器

激光在微电子行业面临的机遇和挑战

PCB(印刷电路板)和FPC(柔性电路板)行业的激光应用解决方案

“激”流勇进 “智”造先行